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06.射频磁控溅镀掺杂铜对钛酸锌薄膜中相变化及微结构的影响

盧威華、張莉毓、陳昱宏、黃永霖、李英杰* “射频磁控溅镀掺杂铜对钛酸锌薄膜中相变化及微结构的影响”北京科技大學學報Journal of University of Science and Technology Beijing. 2012 年10期

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